浸沒式光刻
暨呼13383566502咨詢： 光刻工藝的原理是什么? -
鐵鋒區(qū)力潤滑回復：
______ 光刻工藝是利用類似照相制版的原理,在半導體晶片表面的掩膜層上面刻蝕精細圖形的表面加工技術.也就是使用可見光和紫外光線把電路圖案投影“印刷”到覆有感光材料的硅晶片表面,再經(jīng)過蝕刻工藝去除無用部分,所剩就是電路本身了....
暨呼13383566502咨詢： 請問誰知道制造IC卡芯片的機器叫什么? -
鐵鋒區(qū)力潤滑回復：
______ 有很多機器,最重要的是光刻機,現(xiàn)在一般使用沉浸式光刻機,主要由ASML和NIKON生產(chǎn).
暨呼13383566502咨詢： 無掩膜光刻,什么是無掩膜光刻 -
鐵鋒區(qū)力潤滑回復：
______ 無掩膜光刻是一類不采用光刻掩膜版的光刻技術,即采用電子束直接在硅片上制作出需要的圖形.無掩膜光刻機可以讀取任何CAD數(shù)據(jù),除此之外,無掩膜光刻機還可以讀取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式,無掩膜光刻其具備分辨率高、成本較低等優(yōu)勢,但也存在著生產(chǎn)效率低、電子束之間的干擾易造成鄰近效應等缺陷.
暨呼13383566502咨詢： 光刻曝光技術的主要流程及每個步驟的意義 -
鐵鋒區(qū)力潤滑回復：
______ 光刻工藝主要步驟 1. 基片前處理 為確保光刻膠能和晶圓表面很好粘貼,形成平滑且結合得很好的膜,必須進行表面準備,保持表面干燥且干凈, 2. 涂光刻膠 涂膠的目標是在晶圓表面建立薄的、均勻的,并且沒有缺陷的光刻膠膜. 3. 前烘(軟...
暨呼13383566502咨詢： 什么是微光刻,跟激光光刻有什么區(qū)別? -
鐵鋒區(qū)力潤滑回復：
______ 微光刻只是光刻的一種說法.一般來說,英文對光刻技術的叫法有photolithography,microlithography等等,但是意思上沒有本質(zhì)區(qū)別.lithography的英文愿意是印刷,加上photo或者micro目的是區(qū)別光刻和傳統(tǒng)印刷技術. 采用激光進行光刻的種類和用途很多,直接說激光光刻很不科學,因為用激光光源進行光刻的有激光直寫光刻,準分子激光步進式投影光刻,準分子激光接觸式光刻等等.而光刻技術往往不依據(jù)光源來劃分,所以這種“激光光刻”的說法還是不要用. 光刻的種類很多,采用激光進行光刻的方式只是其中的一部分,所以應該是包含的關系.
暨呼13383566502咨詢： 光刻曝光的原理,光學曝光有幾種方式 -
鐵鋒區(qū)力潤滑回復：
______ 光刻就是在需要刻蝕的表面涂抹光刻膠,干燥后把mask覆蓋其上,有紫外光源照射,受光部分即可凝固,用藥水洗掉未凝固膠膜.沒有膠膜保護的部分即可用濃酸濃堿腐蝕表面,腐蝕好以后再洗掉其余的光刻膠,就得到細微的光刻線條.實際情況遠比敘述的復雜,為了能夠理解簡單說說是這樣. 曝光方式:接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光
暨呼13383566502咨詢： 光刻電鍍是什么意思!??
鐵鋒區(qū)力潤滑回復：
______ 應該是兩碼事.光刻就是激光刻蝕,是在金屬表面刻蝕圖案的工藝.電鍍是在金屬或非金屬表面鍍覆金屬鍍層的工藝.不過,對于很多標牌和工藝品,經(jīng)常把兩者結合起來,以達到最佳效果.
